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Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 產(chǎn)品時(shí)間：2024-05-21
  • 簡(jiǎn)要描述：壓電 · ?范圍掃描運(yùn)動(dòng) — Carrier.S100-OB.Z
    室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征
  • 產(chǎn)品介紹

壓電 · ?范圍掃描運(yùn)動(dòng) — Carrier.S100-OB.Z

室溫 ·壓電運(yùn)動(dòng)?案 —“Carrier. 系列“ ??程掃描載物臺(tái) — 精密光學(xué)，半導(dǎo)體表征

Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái)產(chǎn)品特?

• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；

• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；

• 最?負(fù)載 500 g；

• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；

• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)


Carrier.S100-OB.Z 物鏡?動(dòng)對(duì)焦掃描臺(tái) — 技術(shù)參數(shù)

可選版本 ?

正常版本


.NM     絕對(duì)?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1

運(yùn)動(dòng)?向

Z 軸

2

?程

100 um

3

線性度

0.02%

4

搖擺 / 俯仰

30 urad

5

內(nèi)置傳感器

電容式傳感

6

傳感器噪?

0.3 nm

7

Z ?向分辨率，開環(huán)

0.1 nm

8

穩(wěn)定時(shí)間 (90%位置到達(dá))

15 ms

0.4 N/um

9

剛性

10

共振頻率(?負(fù)載)

650 Hz

11

共振頻率( 150 g 負(fù)載)

275 Hz

12

整體重量

270 g

13

不銹鋼304 ，鋁合?

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