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高精度反射鏡的玻璃材料
在溫度劇烈變化的環(huán)境下使用面型精度較高的反射鏡時，反射鏡的面型精度有時會產(chǎn)生變化。
這是由于反射鏡的玻璃基板上產(chǎn)生溫度分布，溫度高的部分和低的部分膨脹的數(shù)量不同。因此，需要高精度反射鏡時，基板需要使用低膨脹材料。
一般經(jīng)常使用石英玻璃（熱膨脹系數(shù)5.5×10^－7/℃），但是要求更高精度時，使用低膨脹玻璃或被稱為零膨脹玻璃的材料。

高精度反射鏡的玻璃材料-微晶玻璃^®


是在低膨脹玻璃中混有膨脹系數(shù)為負的晶體的晶體化玻璃，在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10⁻⁷/℃。

由于晶體的散射導(dǎo)致玻璃變得模糊不清，玻璃中的光線將會被衰減。
由于比較容易加工，容易拋光，常被用于大型的反射鏡中。
微晶玻璃^®是SCHOTT AG的注冊商標(biāo)。

 
高精度反射鏡的玻璃材料CLEARCERAM^®-Z
玻璃中析出負膨脹系數(shù)微小晶體的零膨脹的晶體化玻璃。

在0℃?50℃的溫度范圍內(nèi)膨脹系數(shù)可以降低到±1×10⁻⁷/℃。
由于玻璃內(nèi)部是透明的，可以通過光線。具有良好的導(dǎo)熱性質(zhì)，機械性質(zhì)，化學(xué)性質(zhì)，可用于激光反射鏡或樣板塊規(guī)。
CLEARCERAM^®是株式會社小原的注冊商標(biāo)。